Bình khí hợp kim nhôm NETC: Mang lại độ tinh khiết tối ưu cho việc lưu trữ và vận chuyển nitơ cấp điện tử có độ tinh khiết cao
Trong các ngành công nghiệp điện tử công nghệ cao như sản xuất chất bán dẫn, sản xuất tấm hiển thị và pin quang điện, nitơ có độ tinh khiết cao không chỉ là một loại khí thông thường; nó là khí "lifeline cần thiết để duy trì môi trường sản xuất và đảm bảo năng suất quy trình. Nó không chỉ được sử dụng để làm sạch đường ống và buồng mà còn đóng vai trò quan trọng trong các giai đoạn sản xuất lõi. Trước khi lắng đọng hơi hóa học (CVD), nitơ có độ tinh khiết cao là chìa khóa để làm sạch buồng phản ứng và ngăn ngừa nhiễm chéo. Sau khi cấy ion, nó đóng vai trò là môi trường bảo vệ để ủ, ngăn ngừa quá trình oxy hóa wafer ở nhiệt độ cao. Trong quá trình quang khắc, nó bảo vệ các cụm thấu kính chính xác khỏi oxy và độ ẩm. Sự thành công của các ứng dụng này hoàn toàn phụ thuộc vào việc duy trì độ tinh khiết của nitơ nhất quán tại điểm sử dụng.
Bình khí hợp kim nhôm của NETC, được thiết kế đặc biệt cho khí có độ tinh khiết cao và khí cấp điện tử, được chế tạo để đáp ứng những yêu cầu khắt khe này. Các đặc tính vật lý vượt trội và công nghệ xử lý bề mặt bên trong tiên tiến của chúng kết hợp tạo nên một lớp bảo vệ chắc chắn, đảm bảo không nhiễm bẩn trong quá trình lưu trữ và vận chuyển nitơ siêu tinh khiết.
Độ sạch bên trong tối ưu: Bảo vệ độ tinh khiết của khí từ nguồn
Quá trình thanh lọc điện tử và nitơ bảo vệ đòi hỏi sự kiểm soát chặt chẽ đối với các hạt và độ ẩm. Các bình hợp kim nhôm của NETC sử dụng quy trình xử lý bề mặt bên trong độc quyền, mang lại:
Mức độ hạt cực thấp: Đảm bảo độ sạch bên trong. Bề mặt bên trong được đánh bóng và thụ động hóa đặc biệt có độ nhám cực thấp, về cơ bản làm giảm sự giải phóng và bám dính của các hạt bên trong. Điều này đảm bảo nitơ được cung cấp đáp ứng các tiêu chuẩn kiểm soát hạt nghiêm ngặt.
Độ ẩm dư cực thấp: Bề mặt bên trong mịn, đặc không hấp thụ độ ẩm. Kết hợp với quy trình sấy khô và tinh chế nghiêm ngặt trước khi giao hàng, điều này đảm bảo các bình có điểm sương ẩm rất thấp khi giao hàng, mang lại lợi thế vốn có trong việc duy trì đặc tính khô của nitơ tinh khiết cao.
Độ ổn định vật liệu vượt trội: Đảm bảo không có sự nhiễm bẩn tương tác
Không giống như các bình chứa tiêu chuẩn, bình hợp kim nhôm của NETC được thiết kế có tính tương thích vật liệu với các loại khí có độ tinh khiết cao:
Không bị ăn mòn giữa các hạt: Vật liệu hợp kim nhôm về cơ bản loại bỏ nguy cơ ăn mòn giữa các hạt có thể xảy ra trong các bình thép, ngăn ngừa nhiễm bẩn ion kim loại từ các sản phẩm phụ của quá trình ăn mòn. Điều này rất quan trọng để bảo vệ các tấm wafer trong quá trình sản xuất.
Khả năng chịu áp suất và an toàn đáng tin cậy: Nitơ tinh khiết cao thường được lưu trữ ở áp suất cao (150 đến 200 Bar) để đạt hiệu quả cao. Bình khí hợp kim nhôm NETC được thiết kế và sản xuất nghiêm ngặt theo các tiêu chuẩn quốc tế như DOT 3AL và CE ISO 7866. Bình có độ bền chịu lực tuyệt vời, an toàn khi nạp lại nhiều lần và vận hành áp suất cao trong thời gian dài.
